از نظر فناوری کنترل حرکت دقیق،-قطعات متحرک با دقت بالا و سیستم‌های کنترل حلقه بسته{1} دقت ماشینکاری را بهبود می‌بخشند. به عنوان مثال، سری Sodick AL از موتورهای خطی در چهار محور XYUV خود برای دستیابی به موقعیت دقیق و پاسخگویی بالا استفاده می کند. دستگاه EDM سیم آهسته Hanba از درایو موتور خطی و خط کش گریتینگ-کنترل حلقه بسته استفاده می‌کند که به دقت تکرارپذیری ±2μm دست می‌یابد. سروو{5}}ماشین‌های EDM با سیم کاملاً بسته-کنترل‌شده از یک سیستم سروو و یک مکانیسم بازخورد کامل-حلقه بسته برای نظارت بر تفاوت‌های موقعیت در زمان واقعی برای اطمینان از دقت استفاده می‌کنند. فناوری جبران تغییر شکل حرارتی نیز در ساختارهای ماشین ابزار با دقت بالا به کار می رود.
از نظر فرآیندهای ماشینکاری پیشرفته، اینها شامل برش میکرو{0}}دقیق، برش با زبری کم- و ماشینکاری با کیفیت سطح بالا می باشد. ماشین‌های EDM سیم یک طرفه فن‌آوری‌هایی مانند پاورهای هوشمند میکرو-پالسی دقیق، کنترل چند پارامتره برای برش گوشه، برش میکرو{5}دقیق و برش با زبری کم-را در بر می‌گیرند. ماشین‌های GF AgieCharmilles از فرآیندهای سیم{8} ظریف پشتیبانی می‌کنند و از سیم‌های الکترودی به ضخامت φ0.03 میلی‌متر برای ماشینکاری فوق{10}دقیق استفاده می‌کنند و مجهز به یک سیستم سیم{11}دوگانه هستند.